真空泵在微波管中的应用_上海伯耕电子科技有限公司
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真空泵在微波管中的应用
2018-04-10

 电子枪的功能是由阴极产生电子束,然后利用聚焦极、阳极把电子束会聚、加速,形成一定截面形状、尺寸和能量的电子注。

  慢波系统是用来减慢电磁波沿管子传播速度的装置,使电子注和高频电磁场的相互作用,把电子束的能量转换为的高频微波能量,使微波管能完成信号放大作用。

  聚束系统利用磁场约束电子注的发散,使其顺利穿过慢波系统。输能装置是被放大微波信号的入口和出口。

  收集极用来收集穿越慢波系统完成能量交换作用后的电子注电流。

  可见,微波管利用电场、磁场来控制电子束在其内部运动,使电子束产生、加速、运动、收集以及和信号相互作用,以至达到信号放大的目的。因此,避免电子对气体分子间的碰撞,呆证电子在微波管内部的运动规律,方止发射热电子的阴极氧化中毒,把微波管抽到一定真空度保证微波管的正常工作,是绝对必要的。微波管的整个寿命期间要求维持高真空或超高真空状态。真空度的好环直接影响到微波管的可靠性能。

  2高真空环境的获得和维持微波管内的真空度的获得,主要通过排气工艺把管内气体抽出,从而获得一定的真空度。由于微波管结构复杂,零件繁多,一般都是100种以上;真空气密性焊缝多,一般有几十道焊缝。所以在排气时需要加热到高温对金属零件和焊接处进行出气处理。这样在微波管工作状态下,内部零件温度会身高,就不会出气了,这样在工作状态下仍然会保证高的真空度。

  常用的排气系统为油扩散泵排气系统和涡轮分子泵排气系统,主要组成为前级泵(机械泵、罗茨泵等)粗抽,然后利用主泵(油扩散泵、分子泵等),配置必要的真空管道、一定高真空阀门、所需的真空计(电阻真空计、电离真空计、B-A真空计等)把真空度抽至高真空。当利用油扩散泵时,还需要加一挡油阱,防止泵油对真空器件内部系统的污染。

  排气结束后,真空度能达到106Pa,可以满足微波管的使用要求。为了提高微波管排气时的真空度,减少在后工序的放气量,我们利用獬射离子泵对微波管的排气,排气结束后真空度可以达到2x10-7Pa.排气结束后,微波管和排气系统进行冷封离,在封离过程中机械挤压使金属零件放气,同时微波管在放置一段时间后,由于其本身的高真空,内部材料会进行放气,从而降低了管内的真空度。这时我们利用了一种小离子泵(俗称钛泵)保证内部的真空度,同时在微波管老炼、测试等工序中,管内零件经过高速电子束的轰击会产生放气,需要钛泵进行抽除。钛泵的电流还具有检测微波管内部真空度的作用。

  在微波管老炼、测试结束后,这时管内的真空度一般都会保持稳定。由于钛泵本身体积比较大,影响微波管的外形尺寸,一般我们会进行去除(对外形无要求的可以不去除)。