气动马达在真空镀膜机器设备中运用实例及情景 真空镀膜机器设备，关键指一类必须在较高真空值下开展的表层的镀膜，实际包含许多类型，包含真空泵正离子挥发，磁控溅射，MBE分子结构束外延性，PLD激光器磁控溅射堆积等很多种多样。关键构思是分为挥发和磁控溅射二种。